集成电路封装测试无尘车间设计施工

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生产厂房洁净生产层及洁净区吊顶或技术夹层内均宜设置湿式自动喷水灭火系统，设计参数宜符合表6．3．3的要求。

洁净室内自动喷水灭火系统当采用干式自动喷水灭火系统或预作用自动喷水灭火系统时，管网容积及充水时间应符合现行国家标准《自动喷水灭火系统设计规范》GB 50084有关规定，且系统计算作用面积应放大30％。

在洁净区内各场所应配置灭火器，并应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。

洁净区内宜选用对工艺设备和洁净区环境不产生污染和腐蚀作用的灭火剂。

洁净区内通道宜设置推车式二氧化碳灭火器。

净化空调系统的选型应根据洁净区面积、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。

气流流型的设计应满足生产工艺要求。当空气洁净度等级要求为6级～9级时，宜采用非单向流。当空气洁净度等级为5级时，应采用单向流或混合流。

洁净区净化空调系统采用的方式应符合下列规定：

1 净化空调系统宜设置集中新风处理系统，新风处理系统送风机应采取变频控制措施；

2 净化空调循环系统应根据工艺生产流程、洁净度等级、温度、相对湿度、热负荷进行划分；

3 循环空调系统宜采用干式冷却方式；

4 采用室外空气与循环空气混合的空调系统时，宜设置二次回风。

空气过滤器的选用和布置应符合下列规定：

1 应根据空气洁净度等级选用空气过滤器类型和组合；

2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量；

3 空调机组的末级过滤器宜采用中效过滤器或亚高效过滤器，并应集中安装在空调箱的正压段；

4 净化空调系统宜设置末端高效过滤器；

5 同一净化空调系统内末端安装的高效过滤器的阻力、效率宜相近；

6 同一净化空调系统内末端安装的高效过滤器的设计使用风量与额定风量的比值宜相近；

7 安装在洁净厂房洁净区内的高效空气过滤器应采用不燃材料制作。